二手 KAIJO 1030/1108 #9149824 待售

KAIJO 1030/1108
製造商
KAIJO
模型
1030/1108
ID: 9149824
晶圓大小: 8"
Wet bench, 8".
KAIJO 1030/1108是日本材料公司KAIJO開發的光刻膠設備。光致抗蝕劑系統用於制造微電子元件和設備,以便在化學和蝕刻工藝之前使表面對光敏感。KAIJO 1030/1108是一種液態濃縮光刻膠系統,有四個組分;堿性(堿)精礦、酸性(活化劑)精礦,共三層抗蝕膜和一個顯影劑,用於在蝕刻過程中與抗蝕膜一起使用。KAIJO 1030/1108是一種獨立的解決方案,可用於多種抗蝕工藝,包括鍍鉻和幹蝕刻。堿性濃縮物作為抗蝕劑的堿,而酸性濃縮物是活化劑或敏化劑。混合濃縮物必須精細溶解、活化,然後塗在基材上才能獲得所需的抗蝕劑。這種抗蝕劑對薄材料特別有用,因為液體精礦很容易被吸收到基材中,具有較高的靈敏度。KAIJO 1030/1108對有機溶劑也有很高的抵抗力,使得它可以用於更廣泛的工藝類型。抗蝕膜必須小心翼翼地與底物和抗蝕型相匹配,三種抗蝕膜提供靈活性,並允許優化蝕刻效果。然後利用顯影劑在蝕刻後溶解剩余的抗蝕膜。KAIJO 1030/1108是一款用途極為廣泛、性能極高的光刻機床,適用於廣泛的蝕刻工藝。它提供了卓越的防腐覆蓋均勻性,具有較長的保質期和易於應用。濃縮液被迫達到受控厚度,易於施用,確保結果均勻,幾乎沒有浪費。
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