二手 KAIJO RT-448T #293634120 待售
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KAIJO RT-448T是一種最先進的光刻設備,用於在光刻過程中制備具有精確層厚的圖樣表面。它的設計采用負/正工作型光致抗蝕劑配方,能夠將目標表面圖樣轉移到微電子工業中使用的大型基板上。該系統包括一種基於最先進的映射單元的專有噴霧技術,用於應用均勻層的光致抗蝕劑。本機利用不同尺寸和壓力水平的噴嘴,準確分散噴霧溶液。噴嘴能夠噴塗光刻膠的單微米層,效率提高。光致抗蝕劑被輸入到專門為均勻噴霧沈積而設計的罐體中。利用低體積進料工具,光刻膠被霧化成液滴,從而進一步提高其在基板上的有效利用率。RT-448T還配備了若幹環境監測和控制裝置,以確保抗蝕劑過程的安全和一致。其中包括溫度和濕度監測裝置,確保空氣質量流通的通風資產,以及防止雜質的過濾模型。設備以最小電壓運行,並由VFD(變頻驅動器)供電。光刻膠系統利用深度曝光方案和高性能精確曝光階段,確保對層厚度、分辨率和表面完整性的最佳控制。優化的編程還允許在曝光過程中提高表面掃描速度和分辨率。KAIJO RT-448T光致抗蝕劑是按照極其嚴格的質量標準制造的,設計為可抵抗物理和化學攻擊。它們有廣泛的用途,從生物醫療和微電子到工程和軍事應用。RT-448T是生產微電子零件的理想光刻裝置,保證了曝光和層控制過程的準確性和可靠性能。其先進的特點和優化的編程使得它非常適合工業生產,具有優越的控制和效率。
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