二手 KAIJO RT-448T #9225113 待售
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ID: 9225113
Acid clean bath
Configuration:
L/U
APM
APM
QDR
F/R
S/D
PLC Controllers:
(4) OMRON C200HX CPU85-Z Sysmac
(2) OMRON C200HX CPU64 Sysmac
(6) OMRON PA204 Power modules
(12) OMRON C200H-ID217 Input units
(4) OMRON C200H-OD218 Output units
(10) OMRON C200H-OD219 Output units
(2) OMRON C200H-MC221 Motion control units
(4) OMRON C200H-MD215 Special I/O Units
(2) OMRON C200H-ASC02 ASCII Units
(2) OMRON C200HW-SLK24 Link modules coaxial
(2) OMRON C200HW-PCS01-V2 PC Card units
(4) TAMAGAWA AU6280N106E51 TBL Drivers (Robot)
Megasonic: HI MEGASONIC 900
Includes:
(2) Acid mixing units
Acid bath + S/D (APM)
Acid bath + S/D (SPM)
Frame & accessories
Quartz & parts
(2) Loader / Unloader units.
KAIJO RT-448T是一種先進的最先進的光刻膠設備,旨在為用戶提供對光刻膠曝光過程的最高控制。該系統配備了高度穩定的二極管激光源、專有的實時高帶寬波形發生器和超精確數字PID控制器。其獨特的設計讓用戶能夠精確調諧激光強度和曝光時間，以確保分辨率精確的光刻膠圖案，且失真最小。RT-448T中使用的二極管激光器功能強大，足以有效覆蓋所有實用的光刻基板，尺寸從小芯片工藝到10英寸晶圓不等。其波長405 nm也確保了與正負色調抗性的廣泛兼容性。此外，激光源可以調制頻率精度高達25 kHz，使用戶能夠以極高的精度將小尺度細節精確地放入其光刻圖樣中。KAIJO RT-448T中包含的波形發生器利用專有算法生成具有超高分辨率和平坦波段特性的波形，確保曝光過程真正線性且無失真。結合強大的波形成形技術,確保用戶能夠創建具有非常精細特征大小和圖像失真的光刻圖樣。這與極快的重復率相得益彰，使用戶能夠以最大的細節密度實現模式。該單元還包含兩個超精確的數字PID控制器，讓用戶能夠微調調節光線強度和曝光時間。通過根據正在處理的具體應用調整脈沖寬度和曝光時間，用戶可以確保其光刻膠圖樣的分辨率準確且無失真。RT-448T是一種堅固可靠的光刻機,可為用戶提供對光刻機曝光過程的卓越能力和控制。憑借其強大的二極管激光源、專有的波形發生器和精確的PID控制器，用戶能夠實現極精細的分辨率和特征大小的無失真光刻圖樣。這使得它成為任何光刻工藝的寶貴工具。
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