二手 KAIJO RT-449 #293634121 待售
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KAIJO RT-449是為各種微電子和半導體器件制造應用而設計的高精度光刻設備。系統的特點是分辨率高，均勻性高，曝光時間極低。RT-449利用特殊的光源和曝光幾何來實現其高分辨率。該源是一種高功率激光二極管，能夠產生320-370nm範圍內的紫外線，高能量密度高達500mJ/cm2。該單元還配置了一個蒙版對準器，該對準器配備了一個x、y和z軸控制的蒙版支架以及一個連續供應的蒙版。KAIJO RT-449光刻機包括一個控制工具，允許用戶編程曝光時間和掃描速率等曝光參數。這項資產還設有一臺幫助控制激光二極管和掩模支架的微型計算機，以及一個在曝光期間維持臨界無氧氣氛的氮氣凈化模型。為了確保整個工件的高度均勻性,RT-449采用先進的成像設備進行設計。該系統利用強大的圖像處理算法，能夠測量曝光時間、光照強度和基板上每個位置的均勻性。該單元還配備了高速掃描鏡，能夠以高可靠性重復精確成像。KAIJO RT-449還提供了廣泛的工藝參數，如曝光時間、波長、溫度和壓力。這有助於優化結果的質量。此外，機器還配備了汙染控制工具，有助於保持暴露環境清潔，無灰塵和顆粒。RT-449為高精度光刻應用提供了理想的工具,例如細線生產、3D圖樣和IC測試。KAIJO RT-449光致抗蝕劑模型具有高精度的成像能力和先進的成像資產，是實現微電子和半導體器件制造工業高質量成果的重要工具。
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