二手 KAIJO RT-824T-1 #9134881 待售

KAIJO RT-824T-1光刻塗層設備是一種全自動旋轉塗層系統，旨在將高精度薄膜沈積應用於各種尺寸的基板。其應用非常適合於光致抗蝕劑自旋塗層。KAIJO光致抗蝕劑塗層裝置采用創新的兩階段分配工藝，采用高粘度和低粘度材料提供均勻的薄膜沈積。該機包括分配階段、旋轉塗層階段和分配後階段，從而方便高效地處理材料。分配階段采用噴嘴設計提供均勻的薄膜沈積，該噴嘴設計最適合不同類型的光敏材料，如負性和正性光敏抗蝕劑配方。分配階段采用脈沖噴霧機制，通過可編程邏輯控制器（PLC）進行控制和監控。這允許精確和可重復的薄膜沈積。旋轉塗層階段采用驅動主軸，由四個無維護的清潔控制通道組成。這保證了平衡旋轉，這對於均勻的薄膜沈積是必不可少的。此外，步進電動機驅動可確保轉速的重復性，並對薄膜參數設置提供更大的控制。分配後階段提供了一個獨特的光學基板支架，可以垂直和水平移動。此功能使操作員能夠調整保持力和陣列對齊方式,從而為操作員提供進一步的控制和靈活性。總之，RT-824T-1光敏塗層工具是光敏薄膜沈積的理想的經濟高效的解決方案。其兩階段分配過程和可調後分配階段使其成為實現各種薄膜沈積需求的靈活平臺。KAIJO光刻塗層資產精度高，使用方便，可對不同尺寸的基板應用高精度薄膜沈積物。