二手 KAIJO RT-844A #9134688 待售

KAIJO RT-844A Photoresist Equipment是一種精確的自動化系統,用於在半導體基板上塗覆光刻膠。該裝置適合與多種光刻膠搭配使用。適用於光刻、薄膜沈積、蝕刻、圖樣轉移、介電沈積等應用。機器由一個四級腔室、一個自旋塗層、兩個自旋堆棧和一個運輸工具組成。腔室的第一階段，即預處理階段，配備了一種調節機制，可以讓光刻膠使質量結果最大化。它還包括一個通風資產，以減少靜態積聚。第二級是光敏塗層室。這個腔室有一個自旋塗層、兩個自旋堆棧和一個渦輪泵。自旋塗層控制自旋的角度和速度，可以很容易地針對各種光刻膠公式進行調整。兩個自旋堆棧同時支撐兩個自旋塗層，減少循環時間，增加吞吐量。渦輪泵會立即將腔室排空,確保塗層保持均勻均勻。第三階段是曝光室。該型號具有高分辨率顯示屏,可精確調整曝光。它還具有光束輪廓監視器,可幫助確保達到所需的曝光水平。曝光室還有一個多圖案的遮罩對準器，可以快速精確的對準。第四階段為曝光後烘烤室。該腔室用於加熱光致抗蝕劑，以確保其達到最佳性能。溫度控制的加熱器可確保光致抗蝕劑加熱到所需的水平。設備還有一個計時器來控制光刻膠的烘烤時間，允許準確一致的結果。總體而言，RT-844A光刻膠系統是一個可靠、精確的單元，可用於各種光刻膠應用。通過其四級腔室、旋轉塗層、兩個旋轉堆棧和曝光腔室，該機提供了優異而一致的效果。理想用於光刻、薄膜沈積、蝕刻、圖樣轉移、介電沈積。