二手 KAIJO RT-974T #9149821 待售

KAIJO RT-974T光電抗蝕劑設備是開發和加工光電抗蝕劑的通用可靠工具。它為集成電路制造、光盤切割和MEMS制造等多種應用提供了卓越的性能。該系統由一個高性能曝光單元、一個光顯影單元和一個光刻膠處理室組成。RT-974T的曝光單元是一個步進重復單元，具有精確的高功率激光光源，可以將圖像精確投射到基板上。它配備了先進的自動對準控制系統,減少了設置時間,並最大限度地減少了手動調整的需要。此外,該機器具有高速度和高精度,分辨率高達0.1 μ m,以及多鏡頭,可提供比單鏡頭系統更好的性能。該工具的照片顯影器具有非常高效和可靠的容量。它的開發人員旨在減少由於組件性能變化而導致的操作員錯誤。這一單元有一個內置的微處理器控制的化學供應資產，可確保為成功加工提供精確數量的所需化學品。KAIJO RT-974T光敏處理室具有精確的溫度控制和濕度管理，以及內置的空氣凈化和真空輸送模型。它的控制還可以實現快速循環時間和較低的設備壓力傳導,從而實現更高效的電源處理。此外，它還配備了先進的晶圓穩定系統，因此可以防止晶圓擺動和流動運動，同時還能實現最佳溫度，以提高抗性能。RT-974T光刻膠系統為光刻膠加工提供了可靠有效的平臺.其耐用和通用的系統在各種應用中都非常有效，確保了高產率和準確性。它的自動化能力減少了操作員的錯誤，提高了吞吐量，其先進的設計提高了處理質量和可靠性。憑借其先進的特點和高效率的性能，該裝置一定能滿足光刻膠制造和加工的最高要求。