二手 KAIJO RT-985T #9134882 待售

KAIJO RT-985T是專門為生產半導體微結構而設計的光刻設備。它運行的基本前提是，可以利用材料的非線性能量吸收特性，在基板上有選擇地產生響應紫外線輻射的電掩層。在其核心，RT-985T利用一個439nm深紫外線激光源的薄的光刻材料的曝光。當紫外線被吸收到光致抗蝕劑層中時，會發生化學反應，將一個非導電的、交聯的聚合物網絡分散在底物上。這種全自動系統能夠精確地暴露典型的光致抗蝕劑層，而不會受到可能損害設備的不良加熱。此外,KAIJO RT-985T單元還具有獨立的紅外源和快門激活功能.快門操作過程中的紅外輻射有助於在暴露時刻保持一致的溫度，減少自然碎片沈積，否則可能幹擾光的傳遞。利用先進的軟件，機器操作員可以在納米尺度上控制基板的圖樣，有效地計算曝光劑量以獲得最佳性能。這一特性通過K-GATE工具包得到進一步管理，該工具包允許同時控制基板上的輻照區域，以進行極其精確的設計。RT-985T工具提供的一個值得註意的便利是工作召回功能。這樣操作員就可以輕松地從關聯的存儲文件中調用作業並在幾分鐘內開始生產。通過嵌入式緩沖區管理進一步縮短了生產時間,使資產可以提前預知不可用掩碼的轉移。總而言之，KAIJO RT-985T是一種可靠且功能齊全的光刻膠模型，非常適合高精度生產半導體微結構。