二手 KAIJO SRT-300 #9127768 待售

KAIJO SRT-300是一種用於半導體工業的光敏設備。它設計用於光刻環境。它能夠在給定的基板上產生精確和高度詳細的圖案設計。光刻膠系統用於制造半導體、存儲芯片和其他重要的電子元件。SRT-300光刻裝置采用聚焦的定向光能源，對被加工的基板產生精確的蝕刻效果。機器可以使用多種不同的蝕刻源如KrF準分子激光、I-line，以及其他更高能量的紫外線光源。它還可以存儲圖樣數據,以便在每個基板上蝕刻或平版印刷復雜、詳細的設計。KAIJO SRT-300使用掩碼對齊過程,以便在每個基板上準確應用模式數據。它提供高對齊精度和高吞吐量,使其能夠快速創建具有高精度的定制基板。SRT-300過程還可以實現精確的抗蝕性輪廓控制以及過程控制和預測,從而真正磨練蝕刻過程的精度。此外，該工具還具有可重復的晶片到晶片對準和出色的覆蓋配準，以確保最佳的基板輸出。KAIJO SRT-300還具有內置的安全功能,有助於保護流程及其操作員。它包括以下功能：一個驗證對準精度的自動零機制、一個易於處理多余殘留物的註射器訪問沖洗站、一個將汙染物的小碎片排除在加工室之外的雙級過濾器，以及基於淤泥保護和常識的安全操作，以進一步幫助保護預期的輸出質量。總體而言，SRT-300為半導體制造過程中的光刻膠系統提供了最先進的技術。它提供了高精度的蝕刻，使晶片和基材質量達到最佳。資產還提供保護和安全功能,以確保正確完成蝕刻過程,而不會產生任何有害結果。