二手 KARL SUSS ACS 200 Plus #293738220 待售

KARL SUSS ACS 200 Plus是一款用於高精度光刻和蝕刻應用的光刻設備。該系統提供了一種開發和處理各種光刻膠的自動化方法，以確保在各種基板上進行精確的圖樣或蝕刻。此單元可用於繪制橫向分辨率低至0.5 μ m的特征陣列。它的工作原理是利用精細的激光光源將基板暴露在光束下。光照被用來改變光敏膠的靈敏度。改變後的光致抗蝕劑對隨後的化學處理有不同的反應，並且根據所使用的光致抗蝕劑的類型，或多或少對溶劑或蝕刻劑具有抵抗力。這使用戶能夠在基板上創建清晰準確的圖案。機器的先進顯微鏡允許對各種各樣的晶片和基板進行精確的可視化和檢查。它還具有3 μ m的位置精度，確保無論基板的大小或形狀，都能準確地應用圖樣。激光控制光束的大小提供了精確精確的均勻曝光強度，提供精確的特征大小和精確的圖案。ACS 200 Plus能夠在預定的掩碼範圍內達到± 10%的臨界尺寸（CD）精度。它還具有使用復雜掩碼集設計的功能。該工具還有一個流程管理資產，可以同時監控和控制多個流程。這使得模型能夠在一次運行中處理大量的基板，使其成為光掩模制造和高容量/高效生產過程的理想選擇。此外,KARL SUSS ACS 200 Plus具有出色的溫度控制和先進的氣流控制,可確保晶片和基板加工時的最高可重復性。它的靈活性允許使用各種各樣的底物和化學品，以確保它能夠有效地用於許多不同的應用。總體而言,ACS 200 Plus是一款先進的光刻設備,具有高精度的特性分辨率、出色的可重復性和一次處理多個過程的能力。這使其成為光掩模制造、晶圓加工和蝕刻的理想選擇。