二手 KARL SUSS ACS 200 Plus #9300428 待售

KARL SUSS ACS 200 Plus是一種自動化的光阻處理設備。它是一個堅固的系統，用於處理化學和機械提升薄膜材料，如光刻膠，金屬和電介質。這種光刻裝置的特點是經過優化的設計，具有可靠和可重復的結果，操作簡單，方便用戶。這臺自動化機器可以同時處理多達12個晶片，達到均勻的塗層厚度和出色的線性。該工具提供先進、精確的過程控制，具有可重復、可預測的結果，是成本效益高的光刻過程的關鍵。該資產采用化學管理模式，通過記錄整個過程中的化學濃度，確保安全運行。該設備還配備了自動澆頭泵，用精密校準濃度的清潔化學品給加工室重新填充。ACS 200 Plus擁有最新的先進沖洗技術，提供精確可靠的沖洗尖峰以及沖洗控制。它還包括一個先進的6通道自旋控制器，對每個通道進行加速和減速時間不同的同步和獨立速度控制，以優化自旋過程。光刻膠系統還具有先進的可編程性，可通過定制加速和減速對配方進行精確優化。此外，控制器還可以在過程提交到晶片之前進行模擬，確保最佳性能和可重復性。KARL SUSS ACS 200 Plus是一款具有許多創新功能的高可靠性、高效的光阻裝置。通過精密的自旋塗層、可編程的化學管理和先進的沖洗控制，實現了可靠、可重復的光刻加工。該機能夠處理高精度光刻工藝，是前沿半導體制造的寶貴工具。