二手 KARL SUSS / MICROTEC ACS 200 Gen3 #293819423 待售
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ID: 293819423
優質的: 2019
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2019 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC ACS 200 Gen3是一種光刻設備,具有先進的自動化光刻能力,可實現工藝優化和更大的靈活性。該系統允許光刻材料的自動和精確對準和曝光對準，用於制造半導體器件。這一單元的設計提供了非常精確的光學開發和對準能力與八軸精度。自動化控制可以集成到暴露和開發等過程中,從而減少對手動輸入的需求。其他功能（如帶有圖像縫合的自動調平選項）有助於優化納米級圖案的可重復性。MICROTEC ACS 200 Gen3內置晶片裝載機，最多可容納四個300 mm晶片，允許多批處理。雙光束光學器件改進了晶圓操控，有助於減少曝光時的燒傷痕跡。它還具有可編程的紫外線暴露時間，可以根據正在開發的模式的復雜性進行調整。這臺機器的曝光對準引擎與其他類似系統相比相當先進。這包括一個3軸晶片級與一個可調節的激光工具自動對準。它還具有自動調整對齊算法和主動特征識別技術，以優化對齊，減少處理時間。該資產的集成用戶界面相當直觀，用戶友好。它具有簡化的圖形用戶界面以及靈活的工作流引擎,使操作員能夠根據自己的自定義設置對模型進行編程。KARL SUSS ACS 200 Gen3能夠獨立運行或集成到群集環境中。這是一項非常有價值的功能,使客戶能夠輕松地將此設備部署到一個或多個系統環境中。在多單元環境中,用戶可以輕松地跨系統傳輸模式,同時利用增強的可擴展性,進一步增強復雜納米級結構的開發。綜上所述,ACS 200 Gen3是一款先進的光刻機床,具有豐富的特性和功能,能夠改進工藝優化,並為納米級圖案制造提供精確的對準和曝光。該工具具有許多吸引人的功能,例如具有直觀用戶界面的自動化資產、多軸曝光對準引擎、可編程的UV曝光時間,以及集成到獨立或多模型環境中的能力。
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