二手 KARL SUSS / MICROTEC ACS 200 #293619870 待售
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ID: 293619870
優質的: 2013
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2013 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC ACS 200是一種適合於廣泛應用的光刻設備，包括光刻和晶圓曝光。該設備使用戶能夠輕松訪問和調整UV光強度和曝光時間的設置。MICROTEC ACS200具有方便的設計,具有集成的曝光室、光盾和現場驗證的線性步進電機,用戶可以準確定位晶圓,同時確保最大程度的曝光均勻性和可重復性。此外,該系統還具有無快門操作功能,可消除遮罩的變化,以及可調節的燈具機構,以幫助垂直對焦調節。MICROTEC高級成像軟件支持KARL SUSS ACS-200的功能，該軟件提供了一個具有完全可編程功能的綜合暴露參數數據庫。此功能使ACS 200在一次運行中每次曝光最多可打印5個掩碼,同時還能夠存儲多個晶圓尺寸的曝光設置。KARL SUSS ACS200還具有真空卡盤,可實現先進的晶圓曝光精度和快速曝光速率。曝光室適合多種基板形狀和尺寸，並配有兩套集成控制系統，一套用於舞臺和曝光控制，另一套用於快門控制。此外，溫度穩定有助於確保可重現的結果。KARL SUSS ACS 200結合了一個集成的液體冷卻裝置，以幫助保持狹窄的溫度範圍，從而獲得高靈敏度的結果。綜上所述，MICROTEC ACS-200光刻機是一種先進的高性能工具，具有先進的特點和可靠性。它使用戶能夠準確執行各種曝光過程，同時保持一致性、可重復性和溫度控制。
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