二手 KARL SUSS / MICROTEC ACS 200 #293756494 待售
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ID: 293756494
晶圓大小: 4"-6"
優質的: 2001
System, 4"-6"
Photoresist developer, 2"-8"
(2) Photoresist dispenses
Vapor prime hot plate
(5) Hot plates
(4) Chill plates
(2) Cassette elevators
(2) Standard robots
Wafer backside rinse
CE Marked
Cassette
2001 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC ACS 200是一種光抗蝕劑處理設備，其設計允許對基板進行精確的蒙版制造和塗層剝離。該系統是一個功能齊全、自動化的濕處理單元，能夠進行高速掩模處理，從而在從光刻到MEMS的各種應用中創造出細線、高質量的圖像。該機主要由三個部分組成：面罩處理器、面罩清潔器和開發者.MICROTEC ACS 200的掩模處理器可提供均勻的照明,用於高度精確的掩模制造,並提供頂部或底部曝光選項。此外，MICROTEC D-酸濕工藝化學物質用於沖洗、去除或替換掩蔽板上殘留的化學物質和顆粒。這一過程允許對口罩進行統一和有效的處理。KARL SUSS ACS-200的口罩清潔劑確保了抗蝕劑塗層表面的最高質量清潔。內存編程的控制工具允許使用膜過濾技術對面罩表面進行精確清潔，確保在烘烤和開發前清除高汙染物。KARL SUSS ACS 200的開發者能夠執行廣泛的開發步驟，包括背面（低能源）開發、頂端（高能源）開發、輕型洪水（低能源）和化學浴洪水（高能源）。這樣可以精確控制開發過程,並能夠控制每個步驟所花費的時間。ACS 200是微光刻、濕化學加工、掩模制作和原型制作等應用的理想解決方案。該資產允許流程可重復性和對開發流程的精確控制。憑借其先進的控制程序,KARL SUSS/MICROTEC ACS200可以處理各種掩模制造過程,從而確保產生最高質量的圖像。
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