二手 KARL SUSS / MICROTEC ACS 200 #9150840 待售

KARL SUSS/MICROTEC ACS 200是設計用於多種應用和模式的光阻處理設備。該系統允許研究人員以嚴格的控制、準確性和精確度來處理光致抗蝕劑。該設備采用雙光束掃描功能，可在三個方便的步驟中制作微光刻圖樣：薄膜成像、顯影和軟烘烤。為了適應各種基板高度，該機設計了一個Z-Stage，允許垂直位置的自動調整。數碼相機為工具用戶提供了一種高效的圖像捕捉方法，可以對其進行處理以創建所需的光掩碼。為了最大限度地提高效率，該資產被設計為只在一個過程中執行所有相關的光刻任務。通過僅使用一個機器設置,該模型提供了高度的可重復性、可靠性和一致性。此外，該設備還設計了一個獨特的盒式磁帶到盒式磁帶平臺，每個周期可獨立處理多達40個不同的晶圓。為了確保安全和精確的操作，MICROTEC ACS200采用了多個級別的安全協議。該系統采用自動快門設計，可防止不必要的光刻光束暴露，並且該單元利用對光束電流、曝光時間和掃描序列等多個參數的獨立控制。此外，該機器還配備了1級激光互鎖工具，可監控激光狀態並在必要時中斷進程。KARL SUSS ACS-200還旨在最大限度地提高用戶的生產力和效率。該資產支持多種流行的CAD格式,數據可以存儲在USB閃存驅動器上。該模型還使用戶能夠根據自己的特定需求創建自定義軟件。此外,背光液晶顯示屏還提供直接性能監控,以實現無縫操作和準確生產。KARL SUSS/MICROTEC ACS-200結合了自動化過程和精確控制,是理想的光敏處理設備。該系統提供了一種高效、可靠和一致的光掩模創建方法，簡化了光刻工藝。最終,KARL SUSS ACS 200為需要精確光刻處理的用戶提供了一個快速有效的解決方案。