二手 KARL SUSS / MICROTEC ACS 200 #9180365 待售

MICROTEC/Microtron KARL SUSS/MICROTEC ACS 200是一種光阻設備，非常適合用於半導體、光電及相關應用。該系統利用光敏材料（對光敏感的材料）以高精度創建復雜的圖樣。該裝置采用噴槍式曝光頭或更常規的「點射」頭。對曝光頭進行校準，為所使用的光致抗蝕劑材料提供最佳劑量的光。光致抗蝕劑材料被放置在晶片上，然後曝光頭會以預定的模式在晶片上移動。這導致按照用戶的願望在晶片上創建光刻膠圖樣。機器使用閉環監控工具來檢測光刻膠的過度曝光或不足曝光。如果檢測到不正確的曝光，資產可以快速修正，使光刻膠層得到最佳曝光。此型號還允許使用內部或外部感光監視器來監視光通量。MICROTEC ACS200可以加工直徑不超過200毫米的晶片以及不超過8英寸方形的基板。它具有分配多層光敏材料的能力，有助於獲得精確、準確的結果。它還具有自動化體驗，提供平滑、無振動的曝光過程。設備使用方便,安裝時間最少。它非常可靠,即使重復曝光也能提供一致的結果。此外，該系統可容納多種光敏材料，從而在材料選擇方面具有靈活性。最後,KARL SUSS ACS-200完全自動化,並配備了全面的故障排除指南和遠程診斷支持,便於維護和故障排除。