二手 KARL SUSS / MICROTEC ACS 200 #9207173 待售

KARL SUSS/MICROTEC ACS 200是一種光刻膠設備，設計用於從薄膜器件制造到厚光刻膠圖案等多種應用。該系統利用一個微米站點和一個垂直級,使用戶能夠有效地處理尺寸不超過8英寸的基板。使用133毫米XY/傾斜式自動電機坐標單元可確保精確可靠的圖樣移動。此外，一個自旋卡盤加上機器的旋轉能力允許光刻膠的均勻應用到基板上。MICROTEC ACS200包括一些優化用戶性能的功能。該工具采用結晶石英工藝室，確保了對薄膜沈積過程的嚴格控制，降低了未烘烤抗蝕劑工藝系統中常見的汙染風險。其樞軸門由四曲玻璃設計組成，增強了用戶的整體安全性和能見度。此外,此光刻膠資產由一個功能強大的控制器控制,該控制器可訪問預裝的各種陣列程序,以便於根據用戶的要求進行自定義。KARL SUSS ACS-200可用於廣泛的處理應用,包括：負性、中間性和正性抗性顯影；薄膜器件真空沈積；化學幹蝕刻；灰化加工；以及可堆疊的抵抗過程。模型的分類過程和配方也被加載到控制器中，從而消除了用戶協調工具和晶片所需的時間投入。此外，整個光刻膠設置采用堅固的全鋁結構，以防止腐蝕，並適當塗上耐腐蝕的黑色環氧漆。歸根結底,KARL SUSS/MICROTEC ACS200是一種可靠的光刻設備,可為用戶提供一系列精確處理功能。其微米級和單個垂直級為處理任何尺寸的基板提供了準確性，而高級控制器則使用戶能夠訪問各種程序和過程。該系統還旨在降低汙染風險，提供安全易用的環境。