二手 KARL SUSS / MICROTEC ACS 200 #9213836 待售
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ID: 9213836
晶圓大小: 8"
優質的: 2000
Coater / Developer system, 8"
Material Handling Unit (MHU):
GENMARK Gencobot 8Y robot
Robot end effectors
Robot cassette scanner
Auto-sizing cassette holder
Manual-sizing cassette holder
Universal centering station
Optical prealigner
Spin coat module:
GYRSET RC 8 Spin coater
Spent chemical monitoring scale
VULCAN Dispense pump
Virgin dispense pump
MILLIPORE Wafergard Gen-2 plus pump
MILLIPORE Wafergard Chemical dispense system
Timed pump
HCV Module:
Hot plate chamber
Cold plate chamber
Vapor prime chamber
Cassette module:
Auto-sizing cassette holder
Manual-sizing cassette holder
Filler module
Chemical dispense module
Aqueous based developer module
2000 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC ACS 200是一種光刻膠系統，用於在集成電路和其他半導體器件的制造中對光刻膠材料進行圖樣化。它由三個主要組成部分組成：光源、透鏡和基板級。光源是產生350-460 nm波長範圍內的相幹紫外（UV）光的氙離子激光器。透鏡將這種光聚焦在基板上，產生所需圖案的二維（2D）影像。基板級保持光刻塗層基板，而激光束通過電子掃描形成圖樣。MICROTEC ACS200由於具有高能、高功率、單波長的激光源，提供了卓越的光阻分辨率和重復性，減少了因曝光重叠造成的圖樣變形。圖案尺寸可從1 μ m調整到10mm,斑點尺寸可在0.1 μ m步長內變化。基板級可以在曝光時傾斜，以控制入射梁的角度，這對於控制圖樣的大小很重要。KARL SUSS ACS-200適用於光敏玻璃、聚合物微透鏡、環氧基抗蝕劑等光敏材料類型。該系統還包括內置冷卻以減少暴露過程中基板的加熱和「石頭」型聚焦激光調節，從而最大限度地減少像差並允許用戶實現亞微米分辨率。此外,KARL SUSS/MICROTEC ACS200對用戶友好,具有圖形用戶界面,用戶可以從命令行或通過GUI監視曝光參數,如電源、速度和曝光時間。KARL SUSS/MICROTEC ACS-200的靈活性允許執行多個應用，例如暴露二維光掩模和亞微米範圍內使用的接觸孔陣列。總體而言，ACS200是一種易於使用的光刻系統，在微電子器件的制造過程中提供了卓越的分辨率和重復性。堅固可靠，適用於各種光敏材料類型。
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