二手 KARL SUSS / MICROTEC ACS 200 #9252577 待售

KARL SUSS/MICROTEC ACS 200是一種設計用於微加工和微電子工藝的光阻設備。該系統采用深層紫外線光源和定制顯示器，提供精確的薄膜厚度控制和出色的圖樣分辨率。光致抗蝕劑被應用到基板上，通常是半導體晶片或PCB，並暴露在光線下在材料上形成圖樣。MICROTEC ACS200是一種可精確排列多種基板的步進重復對齊器。它具有高精度和可重復的掩模級，使得層的亞微米對準。光源是一款200瓦的集成汞氙燈，功率設置從1到100%可調。這允許根據所使用的材料和基材類型定制曝光能量。曝光監視器跟蹤傳遞到底物的光的劑量，確保每次曝光的精確劑量。該機可用於自旋塗層、接觸對準、晶圓成像、光波導生產等多種工藝序列。它被設計為與廣泛的光致抗蝕劑一起使用，包括負片、正片、DIEN和不可照相成像的產品。還包括標準的背面成像模式，可用於導電聚合物或單面印刷等應用。KARL SUSS ACS-200提供出色的薄膜控制,允許精確的模式註冊.它的高精度輸出確保了最終模式中最小的扭曲和缺陷。這將為最終用戶帶來更高的收益和成本節約。該單位還提供若幹安全功能，以確保使用者和附近任何材料的安全。總之，MICROTEC ACS-200是一種在微加工和微電子工業中使用的魯棒式光刻機。它具有先進的功能,如深層紫外線光源、用於精確薄膜厚度控制的監視器和高精度可重復遮罩級。這些功能為該工具提供了出色的模式配準、最小的扭曲和高產率,從而節省了成本。此外，其安全特性確保用戶安全和生產材料的質量。