二手 KARL SUSS / MICROTEC ACS 200 #9353323 待售
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ID: 9353323
優質的: 2001
Coater / Developer system, parts machine
Missing parts:
Robot
Loadport
Hot plate
Chuck
PC
2001 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC ACS 200是一種光刻塗層和開發設備，設計用於制造晶圓級器件。該系統能夠將復雜特征精確蝕刻到晶圓表面或其他微觀結構中，從而能夠用於制造先進的微電子和光電子設備。該單元由曝光站、塗層站和自旋沖洗站三大部分組成。本機采用多種開發方案設計，可直接塗層、烘烤和開發操作。曝光站使用紫外線（UV）光，以便將光刻膠均勻地固化到晶圓表面上。紫外線通過標線聚焦到晶片上，暴露出需要蝕刻的區域。光照是通過個人計算機編程和控制的，光照可以設置到任何期望的水平。塗層站用於將光敏材料施加到晶片表面上。光刻膠材料包含在墨盒中,在需要時將其安裝到機器中。然後使用自旋塗層技術，將光致抗蝕劑塗在均勻薄膜的晶片表面上。自旋沖洗站用於從晶片表面去除任何多余的光敏材料。晶圓被放置在自旋沖洗站內部，在那裏它被浸入化學溶液中，如MICROTEC D 810顯影劑或KARL SUSS D 820顯影劑。此溶液再與晶圓表面的光敏材料混合，使其溶解任何多余的材料。一旦沖洗過程完成，晶圓可以被移除，並允許空氣幹燥。MICROTEC ACS200是一種通用可靠的工具，能夠快速、準確地產生復雜的微觀特征。它旨在提供可靠和一致的性能,並具有各種功能,使用戶能夠從設備中獲得最大的收益。該資產廣泛應用於微電子和光電器件的生產，是發展和制造尖端技術的寶貴工具。
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