二手 KARL SUSS / MICROTEC ACS 200 #9355505 待售
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ID: 9355505
晶圓大小: 8"
優質的: 2013
Coater / Developer system, 8"
Resist pumps
(6) Chillers
(4) Load ports
(2) Coater cups
(2) Developer cups
HMDS Module
(6) Hotplates
(3) Coolplates
(2) SANKYO SC5000 Robot controllers
Power rack
2013 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC ACS 200是世界知名的光刻設備，設計用於半導體器件的光刻研究、開發和生產。系統采用步進電機，行程4.0毫米，高精度0.5 µm。該裝置還配備了2-Axis剪切工具，減少了設備的制造時間和成本。該機器旨在最大限度地提高晶片級和掩模級流程的生產率。它還能夠支撐各種厚度和大小的基材。MICROTEC ACS200的設計目的是跟蹤在晶圓或掩碼級別確定相片處理參數的眾多參數。它配有帶有壓電自動對焦的晶片卡盤，確保晶片可重復性。該工具還能夠支持多個接觸源。它使用LED或Xenon光源進行曝光,同時還具有光強度穩定和可變曝光帶,其活動圖像尺寸可達465mm ²。此外,它還配備了自動快門和掩模舞臺,可確保將布局圖案精確對準基板或掩模表面。KARL SUSS ACS-200還配備了內置、直觀、高吞吐量的軟件控制器，提供用戶友好的操作。控制器能夠操作多步驟可重復曝光和過程。這使用戶可以從靈活的控制和數據分析功能中受益。此外,還可以使用內置的可編程接口輕松定制資產以滿足額外的流程要求。該模型還提供了一個高質量的環境，以確保最佳性能。它旨在減少操作過程中的松弛和振動，以確保最佳效果。該設備還有助於減少光敏侵蝕，以增加設備的壽命。KARL SUSS ACS 200是一個先進的光刻系統，旨在為用戶提供無縫光刻能力。它配備了一系列功能,可確保將布局模式精確對齊基板或掩模表面,並提供高效的數據分析功能。而且，它直觀的控制和界面使得操作和定制更容易滿足用戶的特定需求。該裝置還設計為提供一個舒適的環境，減少振動和光刻侵蝕，以最大限度地提高設備壽命和產品產量。
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