二手 KARL SUSS / MICROTEC ACS 200 #9365925 待售

KARL SUSS / MICROTEC ACS 200
ID: 9365925
Lithography system.
KARL SUSS/MICROTEC ACS 200是一種光阻設備,設計用於半導體材料的精確操縱。該系統具有縱向行進160毫米的精密級,兩個獨立的x-y級,以及射程200毫米的單z級。它還包括一個自動抄寫員和樣本對齊工具集,以及分辨率為0.25 µm的三維成像能力。先進的光學單元包括24位濾波器輪、三級透視照明器和偏振濾波器。本機具有控制背面照明和正面紫外線照射的能力。它還具有廣泛的動態範圍,可以進行五個數量級的測量,以及一個反射率傳感器。此外,還有一個幹涉儀、圖像分析套件、光束剖面儀和掩模掃描儀,用於結構的高分辨率檢查。內置激光顯微鏡可增強成像能力。MICROTEC ACS200光敏工具在其應用中提供了高精度和精確度。適合於光刻、MEMS制造、光伏器件制造、半導體器件制造、生物醫學器件制造等應用。其獨特的特點允許對半導體材料進行精確的操作,從而能夠高效、高質量地制造產品。總體而言,KARL SUSS ACS-200是一種先進的光致抗蝕劑資產,能夠高效生產優質產品。這種裝置具有很強的精確度、準確度和靈活性相結合,功能廣泛,是廣泛應用的絕佳選擇。
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