二手 KARL SUSS / MICROTEC ACS 200 #9384472 待售

ID: 9384472
晶圓大小: 8"
Coater / Developer system, 8" Glass damaged.
KARL SUSS/MICROTEC ACS 200是半導體工業中用於器件製造的光敏設備。它是一個高度通用的系統,能夠產生高度精確放置的高分辨率模式。該單元具有用於精確定位和對準的5軸運動控制,以及用於精確形成圖樣的高分辨率激光控制。機器使用高分辨率遮罩對準器將光刻膠材料精確放置在設備上。使用高性能激光源來創建精確的模式。然後將材料暴露在紫外線光源下,從而使光致抗蝕劑材料變硬。光致抗蝕劑硬化後,可以使用遮罩對齊器將圖案精確地放置在設備上。MICROTEC ACS200允許靈活調整光敏材料的厚度以及圖樣的分辨率。該工具還包括全面的分析工具,如「反射顯微鏡」,可對圖樣進行精確表征。此外,資產能夠產生各種圖案形狀,包括直線、弧形和形狀組合。KARL SUSS ACS-200光刻膠模型是為滿足半導體工業的關鍵需求而設計的,具有無與倫比的精度和可重復性。該設備的精密控制和高度精確的陣列放置允許以無與倫比的精度快速高效地生成極其復雜的陣列。高性能激光控制有助於確保圖樣具有高度的均勻性,在分辨率方面變化最小。具體來說,系統可以達到高達1微米或更高的分辨率。MICROTEC ACS 200是一種可靠且極精確的光阻裝置,旨在滿足半導體工業的嚴格需求。憑借其精確的控制、高分辨率和可重復的精度,該機具有高度的多功能性,可用於快速高效地產生多種模式。
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