二手 KARL SUSS / MICROTEC ACS 300 Gen2 #9356898 待售

KARL SUSS/MICROTEC ACS 300 Gen2是一種用於紫外線或電子束光刻的光刻設備。它是一種功能齊全的系統,旨在提供高精度、高速和可重復的結果。該單元配備了多種不同的技術，使其能夠在光刻工藝的各個階段提供優越的性能。機器的核心是精密的xy級。這是一個先進的工具，可確保基板在整個光刻過程中始終牢固地固定在適當的位置。精密xy級的角分辨率為1 µm，能夠產生具有納米級精度的對齊圖案。舞臺還配備了電動真空資產，確保基板在光刻過程中牢牢地固定在舞臺上，為化學過程提供了優越的性能。該型號還配備了多種成像光學器件。這樣可以在曝光過程中均勻分布照明,並確保實現一致且可重現的制圖過程。該設備還具有可調節的快門，可用於限制散光在曝光時的入口，確保精確的平版印刷過程和減少邊緣效應。該系統能夠使用各種化學抗藥劑，包括負作用和正作用。通過使用可變能量劑量，抗蝕劑可以準確可靠地暴露於所需的水平。該單元還內置幹洗技術，顯著減少了光刻後的清洗時間。MICROTEC ACS 300 Gen2光刻機設計為提供高精度光刻，具有極好的重復性。其精密的xy級、可調的光學器件以及可變的能量劑量特性使其成為納米級光刻的理想選擇。它內置的幹洗技術確保了光刻後的清潔最小化，而它與不同的化學抗蝕劑的廣泛兼容性使得它適合各種應用。