二手 KARL SUSS / MICROTEC ACS 300 Gen2 #9383384 待售

KARL SUSS/MICROTEC ACS 300 Gen2是一種光刻設備，用於半導體工業中使用的先進光刻和薄膜沈積工藝。該系統能夠提供所有必要的設備，包括光源和步進光刻，以便在各種基板表面上蝕刻光刻石層。MICROTEC ACS 300 Gen2與其他光刻膠系統相比提供了更高的性能和準確性,因為它旨在提供可靠和準確的結果,並對整個光刻膠層創建過程進行精確控制。該單元由具有先進曝光技術的步進器組成；為了實現圖像的完美蝕刻和傳輸,步進器具有高達150微米x 150微米的全場成像能力,以及在自動曝光模式下3nm ±的覆蓋精度。步進器的強度也高達20mw/cm ²波長範圍從365nm到632nm。KARL SUSS ACS 300 Gen2采用先進的掃描技術設計,有助於提供高通量,非常適合確保光刻膠層的完美蝕刻,無論其基板或幾何形狀如何。這臺機器能夠精確地蝕刻、清潔光刻膠層，並以無與倫比的精度將其轉移到基板上。這是通過一個優化的過程來實現的，該過程結合了高暴露劑量、穩定的步進運動以及完美控制的溫度和濕度水平。ACS 300 Gen2的用戶友好界面使其易於使用，允許用戶在操作員的最少指導下方便地編程和監控過程。此外，KARL SUSS/MICROTEC ACS 300 Gen2為低維護和最大安全性而設計，並配有減少汙染的氮線，以及優化掃描操縱器以幫助減少塵埃顆粒。此工具還具有完全自動化的自我診斷功能,可確保最佳資產性能。MICROTEC ACS 300 Gen2已經測試，並顯示在廣泛的溫度範圍內能可靠地運作，使其適合於各種光刻和沈積應用。KARL SUSS ACS 300 Gen2具有所有這些功能,是光刻層精密蝕刻和轉移的完美解決方案,為用戶提供了先進的光刻和沈積工藝的強大工具。