二手 KARL SUSS / MICROTEC ACS 300 #293637223 待售

KARL SUSS/MICROTEC ACS 300光電阻設備是一種強大可靠的光刻工具，用於生產高密度集成電路（IC）。該系統可用於生產具有亞微米結構的IC。它提供了業界最高的工藝精度和產量。機組操作的核心是一個UV激光器，其輸出被分成三束。第一個光束用於將IC的空中圖像暴露在抗蝕劑上。第二束用可變聚焦透鏡聚焦影像。最後，用第三束光束控制平臺的高度和加熱功能。機器內使用的先進光學器件高度精確，可以進行精確的光刻處理。這包括能夠以高分辨率曝光先進的致密光刻膠層，低至0.5 μ m範圍。此外，MICROTEC ACS 300能夠暴露各種不同的光刻協議，包括基於時間、分配和基於自旋的工藝。許多功能有助於工具的出色性能。它具有較大的PCB尺寸（400 mm x 350 mm）,允許利用印刷電路板的裸露圖樣進行圖樣化。此外，Z-Axis在資產上的精確定位允許對曝光過程進行精確的垂直控制。KARL SUSS ACS 300型號配備了強大的微處理器驅動的圖像引擎，允許存儲器存儲和召回參數，從而簡化了光刻劑的工藝。此外,用戶還可以設置網格模式,以便輕松編輯圖像,從而最大程度地減少在陣列上花費的時間。最後，這種設備極其可靠，MTBF（平均故障間隔時間）超過82,000個工作小時。這樣可以確保用戶信任並依賴系統來滿足其光刻需求。總體而言，ACS 300光阻裝置是生產具有亞微米特性的IC的絕佳工具。它具有出色的光學性能、高工藝精度、可靠的性能以及強大的圖像引擎。