二手 KARL SUSS / MICROTEC ACS 300 #9081962 待售

KARL SUSS/MICROTEC ACS 300是一種光刻設備，設計用於使用光刻技術對基板進行精確、一致的圖樣繪制。特別是該系統專門研究高端晶圓陣列。MICROTEC ACS 300單元包括一個OptiCAL曝光頭，這是一臺高度先進的機器，可以曝光200毫米以下的基板和8英寸以下的半導體晶片。此曝光頭具有SUSS Greentec還原光學元件,可確保產生高分辨率圖像。此外，它還配備了掃描鏡頭和激光自動對焦裝置，以確保成像基板時的精度和精確度。KARL SUSS ACS 300還配有AutoEdge對齊器，以便將光線圖案正確對齊到基板上。這種對齊器有助於確保光線適當地聚焦在所需的區域上。它通過掃描電子顯微鏡（SEM）實現了這一點，該顯微鏡用於檢測底物的微小錯位。該工具可用於接觸和投影光刻。這類光刻利用激光等光源，照射到光敏材料上。這將顯示基板的區域以創建陣列。這種相同的工藝可用於蝕刻、石版畫和圖樣基板。最後,ACS 300光刻膠資產具有獨特的自動清洗模式.該設備有助於減少人為錯誤，保持鏡頭質量，並使系統保持最佳狀態運行。這是通過每隔幾個小時用特殊液體原子清洗和塗覆鏡片來完成的。這樣可以保持設備的分辨率和準確性,同時防止磨損造成的任何損壞。總之，KARL SUSS/MICROTEC ACS 300是一種高度先進的光刻機，提供精確一致的基板圖樣。它的特點還允許接觸和投影光刻。其自動清洗工具有助於保持資產的準確性和分辨率。