二手 KARL SUSS / MICROTEC ACS 300+ #9144010 待售

KARL SUSS/MICROTEC ACS 300+光刻設備是用於光刻的精密機器。它配備了最先進的微型步進電機，允許光刻膠的精確和可重復曝光。該系統采用人工操作或計算機控制操作，非常適合生產和研究應用。MICROTEC ACS 300+光致抗蝕劑單元有一個大的、可調的工作表面，可以處理尺寸可達200 x 400 mm的基板。機器配備了人性化的液晶顯示屏，其中包括所有有關過程的相關信息，如光束大小、時間和抗蝕劑設置。光束直徑從6 µm可調至650 µm，並且有一個變焦端口允許創建多種不同的抵抗模式。光束尺寸可以快速、精確地調整以實現精確對準。KARL SUSS ACS 300+利用Scott Hardman的專利彩玻璃反射鏡技術。這樣可以在基板上均勻暴露,且失真最小。該工具配有UV-A反射器和可調節的陰影鷹準直儀。這使得資產在曝光過程中極其準確可靠。該型號還配備了一個過程中控制（IPC）照明，可以在形成主圖樣後進行曝光校正。ACS 300+設備可以使用廣泛的光掩模、光電池和抗性材料。該系統設計用於與AP型HSQ型（六甲基二矽氮烷）、AR型（烯丙氧基間苯二酚）、CP型（氰基丙烯酸酯）光致抗蝕劑等標準低粘度抗蝕劑配合使用。它還與PMMA-型（聚甲基丙烯酸甲酯）、AZ型（aza-bisphenol）、MX型（mercaptoxylene）光致抗蝕劑等多種高粘度光致抗蝕劑兼容。總體而言，KARL SUSS/MICROTEC ACS 300+光刻機是一種用途廣泛、應用廣泛的機器。它可以很容易的處理多種光掩模和抵抗材料，使得它適合生產和研究。其出色的多功能性、用戶友好的操作以及高精度的能力使其成為任何光刻項目的絕佳選擇。