二手 KARL SUSS / MICROTEC ACS 300 #9211226 待售

KARL SUSS/MICROTEC ACS 300是專為商業光刻應用而設計的全自動光刻設備。該系統具有一個完全集成的過程模塊，它利用了三大技術：光學、電子和化學。MICROTEC ACS 300的光學模塊使用精密光學器件來設定精確的曝光水平和光掩模的對準。該模塊具有業界最短的波長，還能夠為高精度柔性光刻圖樣提供可調激光功率和/或可變孔徑設置。電子模塊負責陣列的放置和光掩模的監控.它具有兩個獨立的壓電驅動系統,以盡可能最精確的模式放置。此模塊對於對生產超高分辨率設備感興趣的KARL SUSS ACS 300用戶特別有利。化學模塊由一個帶有分級劑量室的化學罐組成，其中添加了光致抗蝕劑和正在發展的化學物質。模塊還包括一個專有的紫外線照射單元，防止空氣中蛋白質的形成，消除圖像失真和亞微米分辨率。ACS 300是一款高度先進的光刻機，非常適合所有類型的光刻應用。其完全集成的工藝模塊提供精確的光學工具，用於精確的模式放置，其化學模塊具有防止空氣中蛋白質形成的紫外線輻射工具。KARL SUSS/MICROTEC ACS 300是需要使用精確光刻技術的超高分辨率設備的用戶的完美解決方案。