二手 KARL SUSS / MICROTEC ACS 300 #9213835 待售

KARL SUSS/MICROTEC ACS 300是一種光阻設備，設計用來蝕刻半導體材料表面錯綜復雜的圖案。它是一種「直接曝光」系統，意味著要蝕刻的圖樣從外部直接暴露在基板上。廣泛應用於微芯片組裝和電路研究。該裝置由光學顯微鏡、真空供應單元和步進電機組成。光學顯微鏡用於將圖像投射到目標基板上，步進電機控制蝕刻深度和精度。真空供應機對基板保持恒定壓力，確保蝕刻參數保持盡可能精確。MICROTEC ACS 300能夠使用其特別設計的投影鏡頭將基板製圖到sub-90nm。它還提供了一種自動對齊工具，可確保在基板上進行圖樣定位的準確性，並允許用戶遠程調整位置和聚焦。曝光資產提供了廣泛的基材和曝光時間，可用於正負光敏。此外，KARL SUSS ACS 300最多可同時處理四個基板，允許增加吞吐量。該模型產生出色的圖像定義,最大分辨率為1 nm。它還具有防止接觸危險化學品的優良安全特性。該設備包括一個自動關閉功能，當化學物質水平降至一定水平以下時停止生產，以及一個氣體監測功能，確保工作期間的安全。簡而言之，ACS 300是一種可靠、準確、高效的光刻膠系統，旨在為半導體材料中錯綜復雜的圖樣制圖。它提供了廣泛的曝光時間和基板功能,以及自動對齊和出色的安全功能。這使得它成為微芯片組裝、研究和其他類似項目的絕佳選擇。