二手 KARL SUSS / MICROTEC ACS 300 #9384559 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
KARL SUSS/MICROTEC ACS 300是一種用於微電子元件精密制造的光刻設備。它利用多次曝光和對齊功能來提供可靠的小型特征模式傳輸。該系統由微型微處理器控制的XY基板級、精密X-Y-Z級和自動曝光/開發單元三部分組成。基板級提供了靈活的移動增量和速度設置,以實現精確的特征放置,而經濟型X-Y-Z級允許關鍵對準所需的可靠光學穿透。MICROTEC ACS 300為30 µm或更高的小型結構設計,采用集成數字視覺攝像機,具有亞微米對準功能。KARL SUSS ACS 300還提供了基板金屬化的模塊化工具。其金屬化模塊的精確提升機制允許將基板小規模定位在有紋理的表面上並保護床單。該模塊還包括一個自動微掩模裝載資產、化學蒸汽輸送模型和基於紅外的加熱設備。該系統還可用於塗層和蝕刻工藝。金屬氧化物蝕刻通過可調設置處理蝕刻曝光時間。同樣，可以使用自動化的可編程選項來配置各種塗層工藝和預處理條件。ACS 300旨在促進重復性和過程控制。集成的微處理器控制提供對校準和驗證模塊的訪問以及單元維護記錄。同樣,實時過程控制技術有助於保持一致的過程結果。KARL SUSS/MICROTEC ACS 300是一臺先進的自動化光刻機。它提供可靠、小尺寸的圖樣傳輸和塗層/蝕刻功能。其集成的微處理器控制提供可靠的過程控制和監控能力，而其校準和驗證模塊則提供自動化的特性測量和跟蹤。
還沒有評論