二手 KARL SUSS / MICROTEC AltaSpray #9210358 待售

KARL SUSS/MICROTEC AltaSpray是一種先進的光敏設備,使用戶能夠在基板上沈積一層精確的薄薄光敏樹脂。這確保了塗層的均勻性和使用光刻技術時的可靠結果。MICROTEC AltaSpray系統具有高性能噴槍,可在長達8 x 10英寸的區域內出色控制光刻塗層厚度。KARL SUSS ALTA SPRAY為各種光刻膠需求提供精確、可調的參數。這包括控制噴霧距離、噴霧速度、壓力和霧化。此外,該單元還支持多種塗層模式,如全場管理、貼片模式或局部塗層。這些功能支持高級功能,例如控制異質基板表面的塗層厚度,在多噴嘴系統中獨立控制每個噴嘴,以及實施上漆技術。KARL SUSS/MICROTEC ALTA SPRAY支持多種基材和光致抗蝕劑。適當的光刻膠可以根據所需的特性來選擇，如正負光刻膠、分辨率和其他要求。量身定制的工藝能夠在光刻工藝中獲得所需的性能，是實現可重復結果的關鍵。此外，KARL SUSS AltaSpray還包括完成光刻工藝的後處理和清潔選項。機器支持噴霧循環和清潔循環操作作為單個程序的一部分完成安裝。它還配備了超聲波噴嘴以提高清潔能力。由於可以高效更換的自動監控部件和備件，該工具的長期維護也得到了改進。總之，ALTA SPRAY是一種先進的光致抗蝕劑資產，它使用戶能夠在各種基材上沈積精確一致的光致抗蝕劑層。它提供可調參數，支持多種塗層模式。此外,它還支持處理後周期和清潔選項,以提高生產吞吐量。這樣,AltaSpray在利用光刻技術時有助於確保可靠的結果和提高產量。