二手 KARL SUSS / MICROTEC CL200 #293649726 待售

KARL SUSS/MICROTEC CL200是一種光刻設備，提供可靠和精確的微電子器件光刻。光致抗蝕劑是一種光敏材料，可用於在基板表面上創建形成圖案的遮罩。MICROTEC CL200是一個全場投影系統，采用對齊的投影光源，以及專門的光學單元，用於在光刻塗層表面上創建預定義圖樣的圖像。該機器還包括一個先進的，用戶友好的控制工具，以高效操作。KARL SUSS CL200具有200 mm的田間尺寸範圍，可用於大型基板的生產。這項資產效率高,能夠快速、準確地調整和暴露。此外，它還配備了12軸機器人模型和先進軟件，使設備內不同元素的自動定位成為可能。該系統還提供了廣泛的用戶友好功能，包括對準程序、完全電動的晶片級和獨立的基板處理，以及基於激光的位置檢測單元，以確保準確性。此外，該機還具有微調曝光場尺寸的孔徑混合特性，可獲得較高的均勻圖樣質量。該工具的其他功能包括用於自動定位檢測的集成全球定位系統資產、校準單元和帶有PID控制器的閉環溫度控制。CL200非常適合需要高精度和精確控制的應用。它可用於部件的生產和制造，如微電子器件，其在基板上制造精細圖樣的能力使其成為研發用途的理想之選。KARL SUSS/MICROTEC CL200也非常適合小批量生產設備，是創建高質量光刻膠圖案的可靠、經濟高效的工具。