二手 KARL SUSS / MICROTEC Ct/62 #293628597 待售

ID: 293628597
Controllers for RC 8 Spin coater.
KARL SUSS/MICROTEC Ct/62是由專業光刻和步進系統的領先制造商MICROTEC開發的光刻設備。該系統設計用於在各種電子基板上打印薄膜和圖案,具有高度的精確度和可重復性。該單元具有極高的精度,可用於各種光刻工藝,為電路設計和生產提供最大的靈活性。MICROTEC Ct/62機由步進器、光敏處理器、真空卡盤和高速控制器組成。步進器利用電動X-Y級精確放置基板並將其對準卡盤上的適當位置。其分辨率為0.25微米,高速精度高達10微米。光致抗蝕劑處理器用於施加和去除光致抗蝕劑材料,而真空卡盤在此過程中將基板固定到位。氣體輸送工具和軟件控制的環境參數有助於確保所有光刻工藝以最高精度進行。資產還包括一個內置塗層站,用於應用光刻材料,以及一個專有的計算機控制模型,用於管理整個光刻過程中的所有功能。通過這種設備,用戶可以創建廣泛的特征和圖案,包括復雜的3D形狀、細線和vias、亞微米光刻以及優化的對齊過程,以確保精確和可重復的圖案。該系統支持幾種光刻材料,同時兼容標準光刻膠片和預封蓋技術。此外,它還設計用於手動操作和自動化操作,從而實現卓越的控制和方便。該機組吞吐量高,能以最大吞吐量和速度快速加工多種基板,提供大批量生產能力。KARL SUSS CT 62光刻機是可靠、準確、高效生產電子器件的重要工具。它提供了卓越的精度、卓越的吞吐量和高可靠性,使其成為生產即使是最復雜的微電子元件的絕佳選擇。
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