二手 KARL SUSS / MICROTEC Delta 12 #293759851 待售

KARL SUSS/MICROTEC Delta 12是一種光刻膠設備，旨在為各種基材上價格合理、質量的光刻膠沈積提供創新的解決方案。MICROTEC Delta 12采用革命性的光學曝光技術,提供具有分析功能的高分辨率、一致且可重復的陣列處理。提供6英寸至12英寸的晶圓直徑，以及最多6個工藝室的容量，該系統是研發（R&D）和生產的絕佳選擇。KARL SUSS Delta 12配備了先進的自動化過程控制功能,為開發人員提供了一個用戶友好的界面來手動配置其光刻過程。為確保精確可靠的模式,該單元由高精度的直驅直線電動機提供動力。此外,它還配備了行業標準的PECVD模塊和維護良好的尖端塗層軌道,使用戶能夠控制薄膜厚度並抵抗均勻性。Delta 12還具有最先進的工藝室，可與外界隔絕。該功能為用戶提供了一個溫度控制的環境，以進行精確的曝光並防止沈積溫度波動。該機還利用先進的光負性和光正性技術，使用戶能夠進行高分辨率的微細加工。其他特點還包括可變深度的高分子蝕刻、內部結構的化學銑削工藝以及可變功率傳感。利用其精確的定位功能,用戶可以選擇所需的字段大小並減少模式失真。KARL SUSS/MICROTEC Delta 12工具還具有快速曝光和梯度曝光過程等高級功能。即使在具有挑戰性的幾何形狀中,此功能也允許在晶片上進行均勻的光刻膠圖案。此外,即使在具有挑戰性的模式下,該資產也能提供非常高的流程準確性和可重復性。總體而言，MICROTEC Delta 12光刻膠模型是一種具有先進功能的可靠、高精度的光刻工藝。其用戶友好的界面和廣泛的數據收集能力使其成為研發和生產的絕佳選擇。該設備為質量沈積、精確制圖、可靠抗均勻性提供了完整的解決方案。