二手 KARL SUSS / MICROTEC Delta 20T #9139667 待售

KARL SUSS / MICROTEC Delta 20T
ID: 9139667
晶圓大小: 6"
Manual coat spinner, 6".
KARL SUSS/MICROTEC Delta 20T是一種光刻設備,它提供了針對傳統批處理和高級晶圓級封裝應用進行優化的高分辨率掩蔽解決方案。MICROTEC Delta 20T采用了多種先進的工藝技術,使用戶能夠在放置任何給定樣品的特征時達到微米精度。該系統采用交流伺服步進電機,具有超聲波葉片定位機構和光滑的皮帶傳輸。這允許高度精確地暴露於光敏材料。該單元還提供了出色的材料塗層均勻性。晶片通過前面板用戶界面快速輕松地加載和卸載。KARL SUSS Delta 20T的高分辨率影像投影機在整個晶圓表面提供卓越的均勻性覆蓋。這可以通過其精確的鏡頭校準工具和高分辨率的光學成像投影技術來實現。Delta 20T還允許對各種光電圖進行精確校正和優化,使用戶能夠準確處理具有挑戰性的基板,如薄片和ITO基板。KARL SUSS/MICROTEC Delta 20T還具有1微米±定位精度。這樣可以確保掩蔽模式正確地位於晶片表面上而不會出現偏差。此外,資產還具有先進的濺射室.該腔室能夠完成等離子體增強型化學氣相沈積(PECVD)工藝,這是產生高分辨率薄膜圖樣所必需的。MICROTEC Delta 20T是一種最先進的光刻膠模型,它為用戶提供了一套最先進的工藝技術,以便在最短時間內生產出最先進的微結構。它旨在幫助用戶優化生產產量並降低制造成本。
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