二手 KARL SUSS / MICROTEC Delta 20T2/150VPO #9124419 待售

KARL SUSS/MICROTEC Delta 20T2/150VPO是一種先進的光刻/光刻設備，設計用於半導體基板的高分辨率、精確的陣列。該系統的設計具有先進的特點,如多層覆蓋和對準精度高達0.3微米,以及高通量生產和延長半導體晶片的產品壽命,以實現經濟高效的陣列設計。該單元具有集成的高穩定性晶片級，能夠支撐5「至8」基板，最大速度為3厘米/秒。舞臺安裝在空氣加固的導軌上，並由輕巧的行進組件支撐，以確保準確可靠的基板運動。多通道微處理器控制器獨立監控級，以亞微米精度控制晶片位置。該機還配備了可變照明光學器件和MicroStepper電動投影工具，提供高分辨率圖案精確投影到基板上。資產可以配置為暴露正或負光刻膠，高保真光學器件可以產生高長寬比和分辨率到次四分之一微米範圍的圖樣。此外,MICROTEC Delta 20T2/150VPO還具有數字編碼的自動聚焦功能,即使基板較厚,也能確保分辨率最高的模式。自動對焦算法還提供了步長小於0.1微米的高度精確、可重復的對焦條件。這樣可以減少曝光時間並節省電力,從而提高吞吐量。該模型提供各種光刻和清理工具，包括深紫外線和軟紫外線光源，以及用於檢測和報告缺陷的晶片邊緣檢查設備。此外，該系統還配備了負載鎖，用於快速、暢通的基板裝卸。KARL SUSS DELTA 20T2/ 150VPO是使用光刻和光刻技術在半導體基板上產生高質量、精密圖樣的先進裝置。其令人印象深刻的一系列特性和功能,以及成本效益,使其成為半導體制造和研究的理想解決方案。