二手 KARL SUSS / MICROTEC Delta 20T2/150VPO #9296246 待售

KARL SUSS/MICROTEC Delta 20T2/150VPO是一種光阻設備，設計用於成像和成型先進半導體材料。MICROTEC Delta 20T2/150VPO是一個全面的概念光刻系統，為制造半導體器件提供可靠和經濟高效的解決方案。該單元由四個關鍵組件組成：光刻工具（Delta 20T）、抗蝕劑塗層、顯影劑和曝光後烘烤（PEB）單元。Delta 20T光刻工具是為直接寫入亞微米光刻成像而設計的一種階梯式和重復機。它使用紫外線光源和高精度光學將圖像投射到基板上。此外,Delta 20T還可以配置用於諸如晶圓劃線、計量和其他專用應用程序。該工具具有300毫米工作臺和150毫米垂直行程範圍。隨附的抗蝕劑塗層是一種自動塗層工具，設計用於在基板上精確應用抗蝕劑材料。它使用線性運動資產來統一、準確地將抗蝕劑施加到材料上。顯影劑是一種基於旋轉的機制，用於在曝光過程後去除抗蝕劑。它利用離心力攪拌抗蝕劑，使化學顯影劑溶液更容易溶解暴露的抗蝕劑材料。最後，PEB烤箱是一種特殊的設備，用於在晶片暴露和開發後對其進行熱處理。利用加熱元件將晶片溫度提高到最優範圍進行抗蝕劑的開發。除了組件之外,KARL SUSS DELTA 20T2/ 150VPO還為用戶提供了直觀的圖形用戶界面（GUI）。此界面旨在幫助用戶執行編程任務,為不同的流程設置模型,並生成用於分析設備性能的報告。DELTA 20T2/ 150VPO光刻膠系統為高精度晶片的成像和成型提供了一個全面的解決方案。它具有高效的工作流程、卓越的圖像質量和直觀的GUI,是制造先進半導體元件的可靠選擇。