二手 KARL SUSS / MICROTEC Delta 36T #107379 待售

KARL SUSS/MICROTEC Delta 36T是一種光致抗蝕劑設備，用於在基板上產生高分辨率的亞微米結構。該系統具備多重曝光能力，允許在半導體微芯片上產生高度錯綜復雜的模式。MICROTEC Delta 36T有一個先進的光學單元，用於改善基板上的光均勻性，並能夠使用各種光敏材料。KARL SUSS Delta 36T利用先進的投影光學機器提供卓越的光刻精度，允許精確和高產產量。該工具采用了數值光圈為0.75的Carl Zeiss f-Theta鏡頭，可提供低至0.2 µm的高分辨率。此外,Delta 36T還可在一個周期內支持最多四次曝光,從而實現高縱橫比和卓越的焦點輪廓深度。KARL SUSS/MICROTEC Delta 36T還具有強大而直觀的軟件包,可方便地對齊基板和基板上的圖案。軟件的「Step&Repeat」功能允許在多個基板上生成多個一致的圖像，「Auto Align」功能進行細微調整以提高叠加精度。MICROTEC Delta 36T還能夠生成二進制圖像和灰度圖像。在成像精度和均勻性方面，KARL SUSS Delta 36T表現出色。它配備了ImageMASSter智能測量軟件,可幫助確保成像精度,並配備額外的高分辨率編碼器,可提高駕駛精度。該資產還配備了用於精密配方管理的可編程控制過程參數，並具有易於使用的觸摸屏界面，以獲得更大的便利和效率。在安全性方面，Delta 36T配備了一大堆防塵盾和真空盾，保護光學器件免受灰塵或顆粒的侵襲，兩者都會影響光刻輸出。該模型還配備了先進的近端視覺設備，用於檢測基板平面中物體的存在，確保高水平的操作員安全。總之，KARL SUSS/MICROTEC Delta 36T光刻系統是一個設計精良、高效的單元，能夠產生高分辨率的亞微米圖樣，光刻精度令人印象深刻。這臺機器提供卓越的照明和強大而直觀的軟件套件，以確保可重復和高效的結果。此外,MICROTEC Delta 36T還提供重要的安全功能來保護光學設備和操作員。