二手 KARL SUSS / MICROTEC Delta 36T #9298295 待售

KARL SUSS/MICROTEC Delta 36T是專門設計用於MEMS開發和生產的光阻設備。光致抗蝕劑系統被用於微加工中，以便在諸如矽或玻璃等基材上創建圖樣。這一過程包括將感光聚合物材料暴露在光下，以便在基板上形成圖樣。來自MICROTEC的MICROTEC DELTA 36T光刻膠系統由四個基本組成部分組成：一個曝光單元、一個超清潔光刻膠處理站、一個後處理機和一個容納基材的平臺。KARL SUSS Delta 36T曝光工具是一個封閉式平臺，配備36個氣溶膠JetHeads，用於精確控制紫外線曝光劑量。這種高度精確的自上而下的輻照使基板與JetHeads對齊，以實現均勻照明。每個JetHead都是可單獨調節的，資產包括一個集成的自動清洗模型，用於清洗。設備的清潔度對於光敏材料的保存和所產生圖樣的質量至關重要。Delta 36T超清潔光刻膠裝卸站是系統的重要組成部分，可確保在基板裝卸過程中光刻膠材料不受汙染。該站設計為盡量減少顆粒物和化學汙染，保持機組清潔。後處理機在輻照完成後使用，包括熱退火和濕法或幹法。通過提供這種受控環境,KARL SUSS/MICROTEC Delta 36T確保創建的模式一致且可靠。MICROTEC Delta 36T光刻工具是一種多用途、可靠的工具，在多種類型的MEMS基板上已被證明具有可靠性和可重復性。此資產用途廣泛、準確,是任何MEMS應用或研究的完美工具。它具有高分辨率成像和安全、清潔的環境,非常適合在微型化設備和組件上創建模式。