二手 KARL SUSS / MICROTEC Delta 80 #293585694 待售

KARL SUSS/MICROTEC Delta 80是一種光刻設備，設計用於單三層光刻加工。它利用一個可編程、可靠和可靠的平臺來支持極其精確和可重復的結果。它主要用於微電子和納米電子工業。MICROTEC Delta 80有一個功能豐富的控制系統，安裝在不銹鋼真空室上。它允許用戶精確控制光刻膠的曝光參數，如曝光角度、曝光時間和強度。它還支持不同基板和階段之間的抗蝕層超高匹配。該單元提供了高質量的表面光潔度和特征均勻性，以確保與光刻膠處理兼容。真空室采用高壓PPT塗層技術，改進了等離子體的清潔和附著力，消除了預塗層。KARL SUSS Delta 80采用模塊化設計,允許靈活配置以滿足個人需求。機器可以升級附加模塊，如旋轉塗層技術和硬烘烤模塊，允許定制。該工具支持多種材料，從抗蝕劑到銅；從單層到多層蝕刻技術。晶圓厚度可達300微米，可重復精度為0.03微米；和可重復層厚度為0.001 nm,晶圓尺寸可達150 mm。它還可以在一次運行中支持多個過程步驟，如光學印刷、塗層開發過程和等離子體處理。Delta 80提供了前所未有的均勻性和易於使用、直截了當的控制。它還具有範圍最廣的應用配置文件之一，以最高的質量和準確性提供了光刻加工的最佳選擇。它確保了可重復的過程控制和高質量的低成本過程的卓越精度。