二手 KARL SUSS / MICROTEC Delta 80 #293651532 待售

KARL SUSS/MICROTEC Delta 80是一款高性能的光刻膠曝光設備，利用高強度紫外線曝光（UV）在多種材料上產生光紋抗蝕層。該系統非常適合在堅固的基材上生產高分辨率、高長寬比的微觀特征，如矽、砷化氙和石英。MICROTEC Delta 80由精密的Z軸級、龍門、曝光組件和高強度氙氣燈組成。該單元的設計可容納從大孔徑方法到傳統的光學近距離曝光的各種曝光部分。它還提供了將各種各樣的抗蝕劑處理模塊集成到機器中的能力。KARL SUSS Delta 80工具還提供多種通用選項,如XY軸曝光、可編程曝光時間和精細的聚焦控制。這允許用戶定義復雜的陣列幾何,並以最小的特征失真執行高分辨率曝光。資產還包括先進的晶圓處理機制，以優化基板處理和曝光均勻性。該模型廣泛的曝光控制也支持靈活的曝光後過程。它的曝光組件具有快速旋轉的曝光頭,可以從一個曝光計劃快速轉換為另一個曝光計劃。此外,還可以將設備集成到高級晶圓跟蹤器中,以實現自動對準和曝光,從而能夠快速制作新設計的原型。Delta 80為了在暴露的圖樣和特徵上提供高度的精確度，還具有高精度的光學接近校正（OPC）和叠加優化能力。激光調制和數字信號處理器（DSPs）的應用相結合，使用戶可以補償基板地形和暴露圖案的變化幾何形狀。通過結合這些特性，KARL SUSS/MICROTEC Delta 80系統可以用於在各種材料上產生高分辨率的光刻膠圖樣，這些材料的精度很高，並且需要最小的特征失真。MICROTEC Delta 80具有快速曝光速度、適應性強的曝光組件和OPC功能,是原型設計和商業生產應用的理想設備。