二手 KARL SUSS / MICROTEC Delta 80 #9271444 待售
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KARL SUSS/MICROTEC Delta 80光刻設備是一種主要用於半導體器件制造的光刻機。它利用紫外線在晶圓表面產生圖案。MICROTEC Delta 80具有高度精確的光學系統,並對晶圓上的圖像進行精確對準。計算機控制器Micro-Controlcenter允許在整個光刻過程中對暴露劑量、基板溫度和冷卻速率等參數進行高級控制。KARL SUSS Delta 80裝有一個UV/visible光源,一個照明單元,以及一個攜帶多個口罩的口罩臺。在真空密封的環境中,該掩模包含圖樣,保持在晶片上方。光源將遮罩圖案暴露在紫外線下,然後將其刻在晶片上。照明機產生所需的光強度和波長,以精確地在晶圓上印上圖案。Delta 80光刻工具效率高,曝光速度高達每小時30晶圓。此外,它還具有自動溫度控制功能,可確保晶圓在整個過程中保持在一致的溫度。KARL SUSS/MICROTEC Delta 80也能夠在過程中對每個晶片的暴露劑量進行精確的監控和調整。這樣可以確保所有晶片都得到相同程度的曝光。光刻資產還配備了先進的成像模型。該設備允許機器檢測、識別和調整晶圓的底層表面的任何變化。成像系統還可以用來表征晶圓上的缺陷和缺陷,然後調整曝光過程,以盡量減少這些影響。MICROTEC Delta 80光抗蝕劑系統還配備了先進的抗蝕劑化學裝置。這些化學方法可以根據應用程序定制,從而提高其性能、效率和準確性。此外,該裝置還配備了一臺集成的運輸機和一臺顯微鏡,可以在光刻過程中進行精確的觀察和故障排除。總體而言,KARL SUSS Delta 80光刻刀具是用於半導體器件制造的可靠高效的機器。它具有高度精確的成像資產、先進的抗蝕劑化學和自動溫度控制,以確保一致和精確的曝光。這些特性使其成為半導體器件制造的理想選擇。
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