二手 KARL SUSS / MICROTEC Delta 80RC T #293586445 待售
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ID: 293586445
優質的: 2008
Coater system, 8"
Substrates size: 4" x 4"
(3) Objectives
CCD
Spinner module
Stainless steel cabinet
Gyrset cover coating
Operator panel with display
Polypropylene bowl
Full sensor waste bottle
Acceleration: 1 up to 5 rpm/s
Spinning Time: 0.1 up to 999s
Power supply: 400 VAC, 50/60 Hz
2008 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC Delta 80RC T是一種自動化的光阻設備,主要用於微米到宏觀成像的應用。光致抗蝕劑系統主要用於微電子和半導體工業，目的是制造電路和芯片。MICROTEC Delta 80RC T是一個強大的系統，被世界各地的客戶用作傳統模擬面罩生產方法的可靠和方便的替代品。它能夠產生具有靈活功能的高分辨率圖像,使復雜的圖樣和設計能夠在各種設備上輕松復制。KARL SUSS Delta 80RC T有一個由石英鹵素光源、計算機操作成像單元和舞臺控制單元組成的計算機控制平臺。平臺可配置為垂直或水平配置,具體取決於用戶的首選項。Delta 80RC T還可以安裝多種來自MICROTEC系列圖像寫字機鏡頭的成像光學器件。KARL SUSS/MICROTEC Delta 80RC T高度自動化和可編程,允許使用自定義成像編程。該工具可以控制樣品的暴露，包括劑量和烘烤，除了溫度、真空和加速度等其他參數。MICROTEC Delta 80RC T還具有多種安全特性，如緊急關閉、低級和高級警報，以及在發生熱或其他不正常情況時自動關閉。KARL SUSS Delta 80RC T專為精確陣列應用而設計,它提供了一種高效的方法來實現可靠和可重復的結果。它的高分辨率和大視野允許將特征精確放置到1 µm的水平，而它的高對比度和均勻性提供準確的結果。Delta 80RC T是那些需要可靠、準確和高度自動化的光電阻的人的理想選擇。它以其易用性、快速的工藝周期和堅固的工程設計而聞名,它的靈活性允許產生復雜的模式,並具有優異的效果。盡管KARL SUSS/MICROTEC Delta 80RC T的初始成本很高,但通過降低每個特征的成本和降低每個晶圓的工藝成本,可以長期節省成本。
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