二手 KARL SUSS / MICROTEC Delta 80RC #293768237 待售

KARL SUSS/MICROTEC DELTA 80RC光致抗蝕劑設備允許將材料精確蝕刻和沈積到基板上。該單元由一個功能齊全的集成平臺和一個全面的軟件控制系統組成，使用戶能夠完全控制整個制造過程。該裝置設有濺射室，用於將薄膜沈積到金屬、矽和其他材料等基板上。濺射室還有一個氣動快門，可以用來防止材料進入機器，使使用者在整個沈積過程中保持控制。MICROTEC Delta 80RC還有一個濕蝕刻室，是制造高縱橫比和深蝕刻結構的理想工具。該室設有壓力控制反應室，用戶可以精確控制反應過程並確保最佳結果。80 RC的光刻臂用於將光敏材料沈積在基板上，然後使用375 nm UV激光器對材料進行緊密的線型定義。這樣就可以創建高分辨率細線陣列,並具有更高的掩碼對齊精度。KARL SUSS Delta 80RC有一個加熱的陶瓷基板支架，可以用來保證整個過程中的溫度均勻。它還有一個具有X-Y-Z運動的機械級，為用戶提供精確精確的對準，用於曝光基板上的光刻膠層。Delta 80RC配有微處理器控制的操作觸摸屏,便於整個工具使用。該80RC還包含一個高級數據采集軟件包,用於記錄制造過程中的結果和協議。總體而言，KARL SUSS/MICROTEC Delta 80RC光致抗蝕劑資產是一個先進的集成平臺，用於將各種材料精確蝕刻、沈積和光刻到基板上。該模型的集成平臺和控制系統允許用戶完全控制過程並確保最佳結果。