二手 KARL SUSS / MICROTEC Delta 80RC #293807051 待售

KARL SUSS/MICROTEC Delta 80RC是一種光刻設備,其設計目的是在微加工過程中提供準確可靠的結果。該系統能夠執行半導體照片的沈積、蝕刻和圖樣化等操作。這臺機器由一個自動化單元和一個計算機控制的晶圓單元以及一個晶圓盒式磁帶組成。MICROTEC Delta 80RC可用於幹性或濕性塗層應用。自動裝置與激光曝光機集成在一起，激光曝光機的設計目的是對抗蝕劑塗層的光刻膠進行曝光。該機組還配備了電源和溫度控制器，以確保準確的曝光結果。此外，該工具還具有自動停止裝置，可防止過度曝光，並最大限度地減少對光刻膠微觀元件的潛在損害。晶圓盒最多可容納250個晶圓,易於互換.盒式磁帶還設計用於保護晶片免受環境條件的影響，包括沖擊和物理沖擊。此外,KARL SUSS Delta 80RC支持高分辨率和多重曝光過程。分辨率可高達2微米，而多重曝光處理則允許整個表面的層傳遞，以及光刻膠作為復雜結構的絕緣材料。該資產還具有高可重復性和可靠性，可加工性高達250晶圓小時，缺陷率低。Delta 80RC是微加工等半導體工業應用的理想選擇。它能夠準確、精確地執行抗塗層、曝光和制圖操作,使用戶能夠以最短的時間和精力獲得高質量的效果。該模型的自動化能力以及提供可重復和可靠結果的能力使其成為微加工過程中的一個強大工具。