二手 KARL SUSS / MICROTEC Delta 80T #293633022 待售

KARL SUSS/MICROTEC Delta 80T是一種光刻設備，主要設計用於微型制造過程。它是一個自動化的系統，可以用來為各種基板做圖樣，比如矽和金屬表面。該單元由基板支架、光源和具有過程自動化功能的特殊軟件包組成。基板支架的設計是熱化基板，並使樣品的快速變化，而無需人工幹預。MICROTEC Delta 80T采用帶石英窗的大功率Xe燈和經過優化的濾光機，為樣品表面提供一致和均勻的輻照度。這確保了光致抗蝕劑在基板表面的均勻分布。KARL SUSS DELTA 80 T配備了流程自動化軟件，可自動為特定應用選擇最佳曝光時間。它有一個自動計時器，能夠精確和可重復的暴露持續時間，以確保一致的結果。該工具還具有自動對焦控制功能，使用戶能夠沿著光軸選擇不同的位置，以及可編程的抗反射塗層（ARC）資產，允許在不同的抗蝕劑配方之間快速切換。MICROTEC DELTA 80 T還附有計算機控制的微調器，允許從樣品中自動應用和去除光刻膠。KARL SUSS/MICROTEC DELTA 80 T是適用於一系列工業和科學應用的可靠模型。它可用於薄膜晶體管（TFT）和其他集成電路的光刻制造。光敏設備具有很高的可重復性，並提供一致的結果，使其成為研究和原型制作的理想工具。此外,系統與一系列材料兼容,包括矽、石英和金屬表面。最後，KARL SUSS Delta 80T在可見光譜和紫外線光譜中運行，允許增強分辨率和增加對比度。