二手 KARL SUSS / MICROTEC Delta 80T #293682013 待售

KARL SUSS/MICROTEC Delta 80T是一種光刻設備，設計用於處理薄而細膩的基板，如薄氧化物、薄膜和薄膜。該系統由真空密封、低能光照機構、加熱基板級和化學儲層組成。裸露的基板材料可以迅速改變，並提供可調節的分辨率和遮罩尺寸。MICROTEC Delta 80T配備了具有曝光時間、強度和檢測器讀數的數字曝光參數顯示器,並基於數字信號處理器（DSP）。此功能允許用戶以高度的精確度優化其曝光參數，以及監控曝光過程。機器還有一個USB端口,用於將工具連接到個人計算機並傳輸曝光參數。KARL SUSS DELTA 80 T具有先進的曝光序列控制，允許在一個會話中運行多個曝光，從而可以快速優化曝光參數。該資產還具有可調節的基板溫度，這在加工薄而細膩的材料時是必不可少的。最高溫度為110°C （230°F），最低溫度為-30 °C，這對於大多數光致抗蝕劑工藝都是足夠的。KARL SUSS Delta 80T有一個強大的化學儲層，旨在不斷提供開發劑、溶劑和其他必需材料。此型號還具有可調節的蒙版尺寸,可實現廣泛的應用。DELTA 80 T可以覆蓋直徑達8英寸（20.3厘米）的基板。MICROTEC DELTA 80 T用戶友好，操作方便。它具有獨特的拱形、真空緊光曝光機制，允許低能光的傳遞。此功能可提高處理精度,並降低每個曝光步驟所需的能量。Delta 80T是精細圖案和制作薄膜的絕佳選擇，因為它能夠加工細小至0.5微米的細膩基板。它也適合研發新的光刻膠工藝和材料。