二手 KARL SUSS / MICROTEC Delta 80T2 #293590415 待售

KARL SUSS/MICROTEC Delta 80T2是一種光刻設備,其設計可實現薄膜的精確平面化、蝕刻和成像。它是適用於生產高密度集成電路（IC）、復合半導體、MEMS、光學系統和微機電（MEMS）器件生產的高精度系統。該裝置配備了最先進的監控機器，利用高分辨率攝像機、頻閃燈和CCD探測器確保對蝕刻和成像過程的精確控制。它還具有高速加載工具，每個循環最多160個晶圓，一個12軸水平運動資產和一個多孔徑光學模型。MICROTEC Delta 80T2采用具有溫和熱身周期和精確離合器接合的大功率氙燈，以及具有精確定時的先進配方控制器單元以及自動背景快門、原位膜測量、XY軸精細調整等先進功能，用於精確的CD-SEM背蝕控制。它具有廣泛的自動過程控制能力，從自動曝光控制和CD到CD控制，到圖像增強控制，一套現場CD-SEM監控工具，以及溫度控制的樣品處理設備。它還包含了一系列安全功能，包括但不限於濕式板凳安全開關，以及全面的蝕刻羽流控制系統。KARL SUSS Delta 80T2是一種多用途光阻裝置，由於其精確的控制和高精度，能夠實現高分辨率圖像和高工程一致性。其優異的蝕刻性能將工藝開銷成本和晶圓產量損失降至最低。憑借其內置的故障保護系統，可以產生廣泛的納米尺度特征尺寸和適合各種應用的瀝青密度。