二手 KARL SUSS / MICROTEC Delta 80T2 #9157254 待售

KARL SUSS/MICROTEC Delta 80T2是一種多功能光刻設備,主要用於光刻材料的曝光。這個曝光系統由一個單元腔室、一個軌道和一個抵抗盒組成。機房配有光學裝置和光源。軌跡負責遍歷工具室，在整個光學窗口中移動圖像。抗蝕劑盒含有基材，是暴露於光敏材料的材料。光源是資產中最重要的部分之一，允許對圖樣進行操縱。這一點很重要，因為圖樣是使用光致抗蝕劑材料創建的，需要精細處理。光源是可調的，可以用來調節發出的光的強度，這將導致不同類型的曝光，這取決於光敏材料的類型。該模型還利用塗層裝置將光敏材料塗覆在基板上。塗層工藝對於在基板上創建所需的圖樣非常重要。有多種塗層材料可供選擇，包括聚甲基丙烯酸甲酯、聚丙烯炔、聚酰亞胺、聚對苯二甲酸乙酯、聚乙烯乙酯和聚碳酸酯等。塗層材料的選擇將決定暴露於光敏材料的類型。設備還配備了掃描儀和控制器。掃描儀負責掃描基板和捕捉圖像以進一步操作，控制器控制系統參數，以確保成像過程的準確性和可重復性。最後，該單元還配備了曝光後烘烤單元。該單元負責在曝光過程後烘烤暴露的光刻膠材料。這對於確保光致抗蝕劑材料在基板上均勻暴露是必要的。烘烤過程改變了光致抗蝕劑材料的化學結合，使其得以發展，並在基材上提供圖樣。最後，MICROTEC Delta 80T2是一種通用的光刻機，用於使用光刻材料來處理圖樣。該工具有一系列光學設備、光源、掃描儀、控制器和塗層材料，為成像過程提供定制。此外，資產還有一個曝光後烘烤單元，以確保整個基板均勻曝光。因此,此模型非常適合為一系列應用程序創建高分辨率模式。